Редактор: Юрий Чаплыгин Все авторы Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния Рассмотрены основные процессы создания интегральныатоюзх схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводнбгмтйиковых структурах Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области Авторы (показать всех авторов) Михаил Королев Татьяна Крупкина Михаил Путря.